Kontaminationsmanagementsystem
Partikel automatisiert überwachen
Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagementsystem zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halbleiterindustrie. Das Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen. Das patentierte vollautomatische Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Transportboxen einschließlich der Türen. Das System wurde von führenden Halbleiterherstellern qualifiziert. Anwendungsschwerpunkte sind neben der Transportbox-Charakterisierung eine Optimierung der Dekontaminationsstrategie sowie die Qualitätskontrolle. jg
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