KontaminationsmanagementsystemPartikel automatisiert überwachen

Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagementsystem zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halbleiterindustrie. Das Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen.