Massenspektrometer
Gute Empfindlichkeit und großer dynamischer Bereich
Mit dem Massenspektrometer HiQuad Neo vereint Pfeiffer Vacuum starke Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung. Das Massenspektrometer erreicht eine Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u.
Es zeichnet sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus. Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Mit diesen Eigenschaften ist das HiQuad Neo besonders für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, Integration in Analysesysteme sowie Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie geeignet. Geräte der Vorgängergeneration lassen sich auf den neuesten Stand des HiQuad Neo bringen. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten, wie beispielsweise der Analysator, ist möglich.
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