Industriekommunikation
Qualitätssicherung für Wafer
Je hochwertiger ein Bauteil ist, umso wichtiger ist die Überwachung jedes einzelnen Fertigungsschritts. Besondere Anforderungen stellen in dieser Hinsicht die Wafer in der Chip-Industrie. Die schnelle Qualitätssicherung der sprunghaft an Komplexität zunehmenden Strukturen entscheidet hier über Entwicklungszeit und Produktionskosten gleichermaßen und bestimmt damit die Stellung im Markt.
Diesen hohen Anforderungen tragen Wafer Mapper-Systeme Rechnung, die sowohl mit manueller Probenladung für Forschung und Entwicklung als auch mit automatischem Handling für die Massenproduktion verfügbar sind. In direkter Echtzeit-Feldkontrolle messen Mapper beispielsweise in 10 Sekunden eine ganze Hysterese-Kurve mit bis zu 16 000 Messpunkten inklusive grafischer Darstellung und Datenspeicherung. Über einen integrierten Standard-Roboter und einen Vorausrichter lassen sich Wafer bis 300 Millimeter Durchmesser automatisch aus Kassetten laden.
Besondere Optionen für die Forschung und Entwicklung eröffnet der hochstabile Dioden-Laser. Durch die Verkleinerung des Lasermessflecks von 1100 Mikrometer in der Standardausführung auf optionale 100 oder sogar 10 Mikrometer lassen sich auch sehr kleine magnetisierte Strukturen auf Wafern untersuchen.dr
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