Wälzkolbenpumpen
Für den Reinraum
Die Trockenläufer A 100 L mit kompakten Abmessungen wurden von Pfeiffer Vacuum zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Die ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Trotz ihrer Abmessungen bieten die Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. ee
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