Vakuumtechnik

Andreas Mühlbauer,

Pfeiffer Vacuum stellt neue Turbopumpen vor

Mit der HiPace 350 und 450 stellt Pfeiffer Vacuum Turbopumpen vor, die sich für Anwendungen wie Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Messtechnik, Teilchenbeschleuniger und Plasmaphysik eignen.

Die Turbopumpe HiPace 450. © Pfeiffer Vacuum

Ihr breites Einsatzspektrum umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie.

HiPace 350 und 450 bieten hohe Leistung bei geringem Gewicht und Platzbedarf. Mit einem Hybridlager, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, verfügen die Pfeiffer-Vacuum- Turbopumpen der Reihe HiPace über eine besonders robuste Lagerung, die für maximale Zuverlässigkeit sorgt.

Die neue Rotorkonstruktion der Turbopumpen führt zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu umfassender Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie sehr guter Kompression leichter Gase. Sie sorgt zudem für hohe Kosteneffizienz und Flexibilität, da die Pumpen in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden können. HiPace 350 und 450 sind kompakte und leistungsstarke Turbopumpen im Segment Saugvermögen 300 bis 700 l/s und haben ein hohes Saugvermögen für leichte Gase.

Die integrierte HiPace-Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Kunden vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen bis zu 5 Jahre wartungsfrei.

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