Betriebsstoffe
Gleich drei Mikroskope in einem
erhält der Anwender, wenn er sich für ein flexibles Mikroskopsystem von Atos entscheidet, um dreidimensionale Oberflächenanalysen durchzuführen. Denn das System lässt sich mittels eines einfachen Mausklicks von einem konfokalen Profiler auf ein interferometrisches oder ein normales optisches Mikroskop umschalten.
Da die optische Einheit des Mikroskopsystems keine mechanischen Teile enthält, ergibt sich daraus eine deutlich höhere Vibrationsfestigkeit als bei üblichen Konstruktionen, was naturgemäß der Bildqualität zugute kommt. Das optische System kann beispielsweise an einem Roboterarm montiert werden, da es dafür sowohl stabil als auch kompakt genug ist. Dies begünstigt Messungen an komplexen Geometrien, die mit anderen Mikroskopsystemen nicht erreichbar sind. Für die Steuerung des Systems sowie für Bildbearbeitungsaufgaben ist ein üblicher PC zuständig.
Sie erreichen mit dem Mikroskopsystem beispielsweise bei Topografiemessungen in der konfokalen Betriebsart Höhenauflösungen im einstelligen Nanometerbereich. Diese schon sehr günstigen Parameter lassen sich im Interferometrie-Modus sogar bis in den Sub-Nanometer- Bereich hinein verbessern.rm
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