Multisensor-Computertomografie

Andreas Mühlbauer,

Submikrofokusröhre und Hochspannungs-Mikrofokusröhre kombiniert

Eine neue Gerätelösung von Werth Messtechnik vereint eine Submikrofokusröhre und eine Mikrofokusröhre mit einer hohen Spannung von bis zu 300 kV bei einer Leistung von 80 W zu einem Zwei-Röhren-Messsystem.

Faserstruktur eines Filters (links) und Eindringtiefe von Partikeln (rechts, Blick aus dem Werkstückinneren auf die Oberfläche) mit Dimensionen im einstelligen Mikrometerbereich. © Werth Messtechnik

Mit Brennfleckgrößen von wenigen Mikrometern können auch große oder dichte Werkstücke hochauflösend und schnell gemessen werden. Zusätzlich ist das Gerät mit einem Chromatic Focus Point Sensor für optische Messungen ausgestattet.

Die neue Submikrofokusröhre, mit einer Spannung von 160 kV und einer maximalen Leistung von 30 W, erzielt durch Nachfokussieren des Elektronenstrahls eine Brennfleckgröße von weniger als einem Mikrometer. Die erreichbare Volumenauflösung liegt in der gleichen Größenordnung. Damit sind beispielsweise Messungen zu der Faserstruktur von Filtermaterialien möglich. Auch die Eindringtiefe von Partikeln kann gemessen und mit Blick aus dem Werkstückinneren auf die Oberfläche farbcodiert dargestellt werden.

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