Piezo-Nanopositioniertische
Schwingender Tisch
Die linearen Piezo-Nanopositioniertische QNPHD von Aerotech bieten die Vorteile eines Tisches und eines Aktuators in einem kompakten Paket hoher Steifigkeit. Dank der Feedback-Option mit direkt messenden kapazitivem Sensor, hochresonanter Frequenzen und hoher Tragfähigkeit eignet sich der QNPHD ideal für diverse Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisions-Anwendungen wie Rastersondenmikroskopie, Scheibenantriebstests oder Halbleiter-Wafer-Artikulation.
Der Direktantrieb des Aktuators und die optimierte Struktur ermöglichen Reaktionszeiten und Bewegungs- und Einschwingzeiten im Millisekundenbereich. Die per Finite-Element-Methode optimierten Präzisionsflexuren sorgen für Steifigkeit, lange Betriebsdauer und hohe Dynamik bei gleichzeitiger Wahrung einer hervorragenden geometrischen Ausführung (Geradheit und Winkelfehler) für kritische Nanopositionierungs-Anwendungen, betont der Anbieter. Als Option wird ein Feedback mit geschlossenem Regelkreis angeboten. Möglich wird dies durch eine spezielle Ausführung der Kapazitivsensoren, was die Voraussetzung für eine Subnanometer-Auflösung und Linearitätsfehler im einstelligen Nanometerbereich schafft. Die Kapazitivsensoren messen den Ausgang des Positionierschlittens direkt, wodurch Genauigkeit und Wiederholbarkeit erzielt wird.
In Verbindung mit den Steuerungen und Antrieben der Q-Serie von Aerotech bietet der QNPHD eine Positionsauflösung im Subnanometerbereich sowie eine hohe Positionierbandbreite. Software-Optionen wie die Pakete Dynamic Controls Toolbox oder Motion Designer enthalten komplexe, aber benutzerfreundliche Tools, etwa eine lernende Regelung, Harmonic Cancellation und Command Shaping, um Tracking-Fehler zu verringern und schnellere Schritt- und Einschwingzeiten zu ermöglichen. Mit der Flashconfig-Funktion werden Tisch und Betriebsparameter automatisch identifiziert, und die Achsenkalibrierungsdaten werden für einen sicheren und präzisen Plug-and-Play-Betrieb in die Steuerung hochgeladen. Der QNPHD ist mit Kabelabgang hinten und an der Seite sowie mit Montagefunktionen für horizontale oder vertikale Ausrichtungen lieferbar. pb
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