Handhabungstechnik

Ionisationsgebläse für Prozessanlagen

PMT stellt das neue Ionisationsgebläse 5822i vor – speziell konzipiert für den Betrieb innerhalb von Reinraumprozessanlagen. Das Zusammenspiel des emissionsarmen Lüfters mit acht hochreinen Wolfram-Emitterspitzen ermöglicht den Einsatz in ISO 4-Reinräumen und erfüllt die hohen Anforderungen von Halbleiterindustrie und Festplattenfertigung. Ionisationseinheit und Gebläse sind in ein hochreines Edelstahlgehäuse integriert und über eine Verkabelung mit der Kontrolleinheit verbunden. Der somit minimierte Raumbedarf ermöglicht die Prozessintegration auch bei beengten Platzverhältnissen. Das Ionisationsgebläse erzielt serienmäßig eine elektrische Balance von plus/minus drei Volt. Dabei optimiert ein automatisches Balance-Korrektursystem den Ionisationsvorgang. Ein patentierter Kollimator leitet die ionisierte Luft auf die zu entladene Oberfläche. Entladezeiten von zwei Sekunden bei einem Abstand von 30 Zentimeter verhindern Rekombinationseffekte. Durch den Anschluss eines externen Sensors ist es möglich, die elektrische Balance sogar auf plus/minus ein Volt zu reduzieren. Die Kontrolleinheit bietet – neben dem Anschluss des externen Ladungssensors – eine Regelmöglichkeit für Gebläsegeschwindigkeit und elektrische Balance. Alarmsignale können an ein externes Monitoringsystem weitergereicht werden. gm

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