Handhabungstechnik
Handling von Solarzellen
Stand der Technik bei der Handhabung von Wafern und Solarzellen sind konventionelle Vakuum-Sauggreifer oder Schwebesauger nach dem Bernoulli-Prinzip. Beide Greifer-Varianten haben aber Nachteile: Zwar lassen herkömmliche Vakuum-Sauggreifer hohe Querbeschleunigungen und somit kurze Reaktions- sowie Zykluszeiten zu, jedoch gibt es an den Kontaktflächen chemische Verunreinigungen und mechanische Belastungen. Beim Schwebesauger sind diese Einflüsse deutlich geringer, aber die Nachteile sind hier langsamere Taktraten, eine relativ unpräzise Positionierung und das unkontrollierte Abblasen von Störpartikeln in den Prozessraum. Das wirkt sich negativ aus. Durch ein neues Greifkonzept des Vakuumtechnik-Spezialisten Schmalz lassen sich diese Nachteile umgehen: Der Wafer-Greifer vom Typ SWG greift über die gesamte Waferfläche und ist dadurch besonders schonend. Hunderte Sauglöcher reduzieren die punktuelle Krafteinwirkung auf ein Minimum und verhindern zuverlässig die Bildung von Mikrorissen. Optionale Dämpfungselemente verstärken diesen Effekt. Zudem sorgt die Kontaktfläche aus PEEK (Polyetheretherkon) für abdruckfreies Handling ohne Oberflächenkontamination. Gleichzeitig erfüllt der Wafer-Greifer SWG hohe Anforderungen an Beschleunigung und Prozessgeschwindigkeit. pb
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