Antriebstechnik
Nanogenau positionieren
Für Positionieraufgaben im Nanobereich hat Piezosystem Jena den weltweit kleinsten dreiachsigen Nanopositionierer entwickelt, der eine Kantenlänge von nur noch 15 Millimetern hat. Der so genannte microTRITOR erreicht zwar nur einen Hub von je neun Mikrometern in den Verfahrachsen X, Y und Z, aber die Positionsauflösung liegt im sub-Nanometer-Bereich. Der entscheidende Vorteil der eingesetzten piezoelektrischen Aktortechnik liegt in der nahezu unbegrenzten Auflösung. So können Strukturdifferenzen wesentlich besser ermittelt und bewertet werden. Durch die hohe Steifigkeit des Antriebsystems werden Resonanzfrequenzen deutlich über 2,2 kHz erzielt. Dieser Wert ermöglicht eine außergewöhnliche Scanrate.hs
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Mit zwei Aktoren
Die Genauigkeit und die Geschwindigkeit der Probenpositionierung ist ein entscheidendes Kriterium auf dem Gebiet der hochauflösenden Mikroskopie. Diesen Anforderungen entsprechend hat Piezosystem Jena den Z-Achsen-Hubtisch PZ 300 AP entwickelt.
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