AntriebstechnikNanogenau positionieren

Für Positionieraufgaben im Nanobereich hat Piezosystem Jena den weltweit kleinsten dreiachsigen Nanopositionierer entwickelt, der eine Kantenlänge von nur noch 15 Millimetern hat. Der so genannte microTRITOR erreicht zwar nur einen Hub von je neun Mikrometern in den Verfahrachsen X, Y und Z, aber die Positionsauflösung liegt im sub-Nanometer-Bereich.