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Artikel und Hintergründe zum Thema

Sensoren

Andreas Mühlbauer,

Präzise 3D-Oberflächeninspektion und Defekterkennung

Reflectcontrol-Sensoren von Micro-Epsilon nutzen die phasenmessende Deflektometrie zur präzisen Analyse reflektierender Oberflächen. Hierbei wird ein Streifenmuster auf die Oberfläche projiziert und dessen Spiegelung von zwei Kameras erfasst.

© Micro-Epsilon

Aus den Aufnahmen berechnet der Sensor eine 3D-Punktewolke der Oberflächenstruktur, wodurch Unebenheiten, Kratzer und andere Defekte sichtbar werden. Der Sensor kann stationär eingebunden oder am Roboter über das Messobjekt geführt werden. Lokalisierte Abweichungen und Defekte werden ausgewertet und in den CAD-Daten angezeigt. Der RCS130-160 3D HLP ist speziell für Mess- und Inspektionsaufgaben in Produktionslinien optimiert und verfügt über eine GigE-Vision-Schnittstelle.

Damit liefert er die Daten GenICam-konform, wodurch eine nahtlose Integration in bestehende Bildverarbeitungssysteme möglich ist. Der Sensor liefert dank der verbesserten Kameraanordnung schärfere 2D-Bilder als sein Vorgängermodell sowie eine 3D-Darstellung von hochreflektierenden Oberflächen. Die hohe Z-Auflösung im Nanometerbereich sowie die ausgezeichnete Wiederholpräzision von <1 µm sorgen für bis zu 5 Millionen 3D-Datenpunkte, die der Sensor ausgibt. Sensoren der Reihe Reflectconrol lassen sich beispielsweise in der Halbleiterproduktion einsetzen – hier erfassen sie exakt die Form eines Wafers. Weiterhin lassen sich die Sensoren zusammen mit der Micro-Epsilon-Software 3DInspect verwenden.

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Control, Halle 9, Stand 9301

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