Messtechnik für industrielle AnwendungenWeg-Winkel-Differenzinterferometer erfasst mehrere Freiheitsgrade
Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays könnten in ihren Dimensionen unterschiedlichster nicht sein – und dennoch haben sie eines gemeinsam: Ihre Strukturen werden immer feiner und stellen zunehmende Ansprüche an die Fertigungstechnik.
Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays haben eines gemeinsam: Bei ihrer Herstellung muss mit Toleranzen im Pikometerbereich gearbeitet werden, was die eingesetzten Messverfahren immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren drängt. © SIOS Meßtechnik, nordroden/stock.adobe.com
