Piezo-Positioniertisch
Macht kleinste Schritte
Der Piezo-Nanopositioniertisch QFocus QF1 von Aerotech bietet Mikroskopobjektiv- und Optikpositionierung mit Präzision auf Nanoebene bei hohen Geschwindigkeiten. Der QF1 hat einen hochgenauen kapazitiven Sensor und eine hohe strukturelle Steifigkeit.
Er eignet sich für anspruchsvolle Scananwendungen, Mikroskopie und sämtliche optische Anwendungsbereiche, die Genauigkeit und hohen Durchsatz erfordern. Der QF1 wird von Präzisionsflexuren geführt, die mit der Finite-Element-Analyse optimiert wurden. Die Konstruktion bietet eine bemerkenswerte Steifigkeit und Resonanzfrequenz, wodurch ein hoher Prozessdurchsatz und eine schnelle Reaktion bei Closed-Loop ermöglicht werden. Außerdem hat der Hersteller den QF1 auf hervorragende geometrische Performance – Geradheit und Winkelfehler – für anspruchsvolle Anwendungen ausgelegt.
Die Sensoren messen die Ausgabe des Positionierungsschlittens direkt, woraus Präzision und Wiederholbarkeit resultieren. Die Aerotech-Softwarepakete Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten Tools wie die Iterativ Lernende Regelung, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die einen kleineren Schleppfehler und schnellere Einschwingzeiten ermöglichen. OEM-Antriebsoptionen sind ebenfalls verfügbar. pb
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