Motion-Controller-PlattformAuf Position gesteuert
Motion-Control-Lösungen. Für Positionieranwendungen müssen Motion-Control-Lösungen robust und zuverlässig sein, genau und dynamisch mit hohen Durchsatzraten und Vernetzungsmöglichkeiten.
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Ein luftgelagerter, zweiachsiger Lineartisch für die Wafer-Inspektion. Zur exakten rechtwinkligen Ausrichtung regelt der Motion Controller das Gieren der Achsen über die X-Achse. (Bild: PI)