Stufenloses Teleskophandling
Alternative zum Reinraumroboter
Im Hochvakuumbetrieb beim Beschichten von Glasplatten waren bisher Reinraumroboter im Einsatz. Eine kostengünstige Alternative ist jetzt das stufenlose Teleskophandling Sliding Fork Unit von Festo.
Bei der Herstellung von Dünnschichtsolarzellen im Front-End-Bereich wird 4 mm dickes Glas in verschiedene Prozesskammern eingeführt und beschichtet. Dieser Prozessbereich steht unter Hochvakuum und ist ca. 200 °C heiß. Um die beschichteten Gläser von einer Prozesskammer in die nächste zu transportieren, setzt man klassisch spezielle Reinraumroboter ein.
Eine kostengünstigere und kompakte Alternative für diese Roboter ist das stufenlose Teleskophandling Sliding Fork Unit von Festo: Das Teleskop-Prinzip mit dreifachem Übersetzungsverhältnis ermöglicht ruckfreie Hubbewegungen bis 2.100 mm mit einem elektrischen Spindelantrieb. Der Bauraum entspricht der Werkstückgröße. Die gegen das Vakuum gekapselte Atmosphären-Box (ATM) enthält einen Elektromotor, das Getriebe und die Vakuumdrehdurchführung (Spindellager).
Die SFU ist auch bei hohen Gewichten von über 10 kg stabil. Spezielle Glasauflagen vermeiden Markierungen auf der Glasplatte. Der Bauraum entspricht gerade einmal der Werkstückgröße. Möglich sind stufenlos programmierbare Zwischenstopps. Die Sliding Fork Unit ist leckagefrei. kf
Motek, Halle 3, Stand 3303
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