Robust und langlebig
Turbopumpe mit intelligentem Temperaturmanagement
Mit der Turbopumpe HiPace 2800 IT präsentiert Pfeiffer Vacuum eine speziell für Anwendungen zur Ionenimplantation geeignete Turbopumpe. Das ausgereifte Rotordesign der Turbopumpe gewährleistet ein optimales Saugvermögen für leichte Gase.
Dadurch ist eine ausgezeichnete Anpassung bei Ionenimplantationsprozessen sichergestellt, bei denen hauptsächlich Wasserstoff anfällt. Mit einem Saugvermögen für Wasserstoff von 2.750 l/s ist sie die neue führende Turbopumpe in ihrer Klasse.
Das intelligente Temperaturmanagement verhindert Kondensation und Ablagerung im Pumpensystem und gestattet eine individuelle Temperatureinstellung zur optimalen Prozessunterstützung. Die spezielle Hochleistungsbeschichtung des Rotors bietet Stabilität gegenüber allen Stoffen, die in Ionenimplantationsprozessen auftreten. Dank der sogenannten Hybridlagerung, einer Kombination aus Keramik-Kugellagern auf der Vorvakuumseite mit permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, verfügen die Turbopumpen über einen äußerst robusten Lageraufbau. Dieser bildet zusammen mit der effizienten Beschichtung die Grundlage für die lange Lebensdauer der Pumpen und eine maximale Verfügbarkeit. ee
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