Hydraulik + Pneumatik

Hohe Messgeschwindigkeit

Pfeiffer Vacuum bietet mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei Neuheiten. Beide Lösungen basieren auf dem bewährten Massenspektrometer Prisma Plus in Kombination mit einem trocken verdichtenden Hi-Pace-Turbopumpstand. Sie finden Einsatz in der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen (Beschichtung von Architekturglas oder Dünnschichtsolarzellen). Der SPM 220 und der HPA 220 sind in den Massenbereichen 1-100 und 1-200 amu erhältlich; der HPA 220 auch für 1-300 amu.

Der Monitor zeichnet sich durch eine speziell entwickelte Ionenquelle aus, die eine direkte Verbindung des Analysators mit der Prozesskammer ermöglicht. So lassen sich die Vakuumbedingungen von Sputterprozessen und ähnlichen Anwendungen bis zu einem Druck von 10-2 mbar momentgenau überwachen. Durch ein zusätzliches Blendensystem ist der Druckbereich bis 10 mbar erweiterbar.

Der Analyzer ist je nach Anwendung mit drei manuell und elektropneumatisch bedienbaren Gaseinlassventilen erhältlich. Sein modularer Aufbau macht ihn zu einer flexiblen Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis 50 mbar.
Beide Systeme sind mit digitalen und analogen Ein- und Ausgänge ausgestattet, die die Einbindung in übergeordnete Steuerungssysteme ermöglichen. Die neu entwickelte Bediensoftware überzeugt laut Anbieter durch eine übersichtliche Benutzeroberfläche sowie eine einfache Dokumentation der Messergebnisse. kf

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