Für die Wafer-Beschichtung sind spezielle Horizontalöfen im Einsatz. Kleinantriebe sorgen für das perfekte Be- und Entladen sowie Öffnen und Schließen der Ofentüren.
Jede Ofenröhre ist mit einer robusten, temperaturresistenten und gasdichten Tür ausgestattet, die per Kleinantrieb sicher geschlossen wird. (Foto: Tempress)