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In Millisekunden auf 2000 Grad Celsius
Das Erzielen hoher Temperaturen in sehr kurzen Zeiten spielt eine Schlüsselrolle für die Produktion zukünftiger Chip-Generationen und bei Anwendungen in der Nanotechnologie. Im Dresdner Forschungszentrum Rossendorf (FZR) wurde Europas erste kommerzielle Anlage für das Tempern von Halbleiter-Materialien im Millisekundenbereich entwickelt.
In der Silizium-Chiptechnologie sind speziell im Nanometer-Bereich immer kürzere Temperzeiten erforderlich, um beispielsweise die Umverteilung von Fremdatomen zu minimieren. Während in den heute gebräuchliche Temperverfahren mit Halogenlampen die kürzesten Zeiten bei etwa einer Sekunde liegen, enthalten Blitzlampen Xenongas zur Erzeugung von Lichtimpulsen im Millisekundenbereich. Das Licht aus solchen Lampen ist kurzwelliger als das aus Halogenlampen, die eingebrachte Elektroenergie wird fast vollständig in Lichtenergie umgesetzt und die Verlustwärme ist minimal. Hinzu kommt der Vorteil einer schnelleren Schaltbarkeit dieser Lampen. Die neu entwickelte Anlage ermöglicht Pulszeiten bis runter zu 0,8 Millisekunden. Während die üblichen Temperverfahren die Materialien komplett durchwärmen, wird bei der Blitzlampentemperung nur die Oberfläche aufgeheizt, das Material selbst bleibt kühl. Die Einsatzfelder liegen daher nicht nur in der Chip- und Nanotechnologie, sondern auch in der Photovoltaik und anderen Gebieten der Werkstofftechnik.
st
Links: http://www.fz-rossendorf.de








