Dünnschichtherstellung
In einem Produktionsschritt
Das Unternehmen 3D-Micromac präsentierte im Juni ein Maschinenkonzept, das sämtliche Strukturierungsschritte zur integrierten Serienverschaltung bei Dünnschichtmodulen auf einer Plattform und in einem Produktionsschritt vereint. Das neue One-Stop-Patterning-Verfahren (OSP) strukturiert die Module erst, wenn sämtliche funktionellen Schichten auf dem Substrat abgeschieden sind. ms
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