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Artikel und Hintergründe zum Thema

Membrane

(Membranen, Membran)

Nachhaltigkeit

PFAS-freie Polymermembranen für die Halbleiterindustrie

PFAS-Chemikalien sind aufgrund ihrer Stabilität, Wasser- und Fettbeständigkeit in vielen Branchen weit verbreitet. In der Fertigung von Halbleitern werden zum Beispiel in verschiedenen Prozessschritten PFAS-haltige Membranen eingesetzt. Mit einer neuartigen, PFAS-freien Membran haben Forschende des Fraunhofer-Instituts für Angewandte Polymerforschung IAP nun eine nachhaltige Alternative entwickelt.

 

Software

Eine »Reinkarnation« in der Strukturmechanik

Autoren: Holger Conrad1, Dr. Thilo Sandner2, Dr. Harald Schenk2, Prof. Hubert Lakner1,2

1 Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), TU Dresden 2 Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden

Die Reduzierung der in einer Schichtabscheidung entstehenden Verformungen von dünnen Platten, Schalen oder Membranen stellt in vielen Anwendungsgebieten eine wichtige Herausforderung dar.
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