Messtechnik für industrielle Anwendungen
Weg-Winkel-Differenzinterferometer erfasst mehrere Freiheitsgrade
Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays könnten in ihren Dimensionen unterschiedlichster nicht sein – und dennoch haben sie eines gemeinsam: Ihre Strukturen werden immer feiner und stellen zunehmende Ansprüche an die Fertigungstechnik.
