Halbleitertechnik

Die eisenlosen Linearmotoren von Rexroth positionieren kleine Massen sehr präzise und mit maximalem Gleichlauf. Die Motoren der Baureihe MCL zeichnen sich durch eine hohe Dynamik aus und lassen sich einfach in eine Maschine integrieren.

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bieten die vier neuen Baugrößen der Serie Hipace Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum. Sie zeichnen sich durch hohes Saugvermögen für leichte (H2, He) und schwere Gase (Ar, CF4) aus. Auch bei schweren Gasen erreichen sie hohe Durchsätze.

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werden umgangssprachlich die Läufer genannt, die bei Rennen, wie dem Marathon, das Tempo hochhalten und so Rekordzeiten in der Leichtathletik ermöglichen. Die „Hasen“ in der Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik sind die neuen Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum.

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