Hohe Messgeschwindigkeit
Pfeiffer Vacuum bietet mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei Neuheiten. Beide Lösungen basieren auf dem bewährten Massenspektrometer Prisma Plus in Kombination mit einem trocken verdichtenden Hi-Pace-Turbopumpstand.
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