Sensorik + Messtechnik
Hohe Linearität
Das Prinzip des kapazitiven Wegsensors basiert auf der Wirkungsweise eines idealen Plattenkondensators, die Änderung des Plattenabstands bewirkt eine Änderung der Gesamtkapazität. Bei einem Sensorsystem werden die beiden Plattenelektroden durch den Sensor und das Messobjekt „ersetzt“. Durchfließt ein Wechselstrom mit konstanter Frequenz den Kondensator, so ist die Amplitude der Wechselspannung am Sensor dem Abstand zum Messobjekt proportional. Durch eine spezielle Auswertung des Blindwiderstandes des Plattenkondensators erreicht man ohne zusätzliche Linearisierung einen streng proportionalen Zusammenhang. In der Praxis wird diese Linearität durch den Aufbau der Sensoren als Schutzringkondensatoren nahezu ideal verwirklicht – unabhängig von der Leitfähigkeit der Targets.
Bei halbleitenden Messobjekten wirkt sich die geringe elektrische Leitfähigkeit jedoch sehr ungünstig auf das Messprinzip aus, da der Ladungstransport im Target deutlich reduziert ist. Um dies zu verbessern, kann man die zu geringe Leitfähigkeit des Targets beispielsweise durch eine geeignete Beleuchtung „künstlich“ erhöhen. Bei diesem Effekt, der als Photoleitung bekannt ist, werden Elektronen durch die zugeführte Energie vom Valenz- in das Leitungsband gehoben. Damit wird die elektrische Leitfähigkeit des Target-Materials um bis zu mehrere Größenordnungen erhöht, so dass der Einsatz kapazitiver Sensoren wieder möglich wird.
Dieses Schutzringkondensator-Prinzip wird auch von einem neuen Produkt der Serie 6100 genutzt. Das umfangreiche Sensorprogramm beginnt bei einem Messbereich von 200 µm und deckt bei den größeren Modellen Wege bis hin zu zehn Millimetern ab. In Verbindung mit dem kompakten Controller liefert diese Serie Linearitätswerte von 0,4 Prozent und Auflösungen von 0,01 Prozent bei einer Grenzfrequenz von zwei kHz. Als Versorgungsspannung des Systems sind 9 bis 36 Volt erforderlich und am Ausgang stehen 0 bis 10 Volt zur Verfügung.Dr. Peter Stipp









