Linearmotortische
Dynamisch zu Tisch
Die Linearmotortische der Serie Planar DLA von Aerotech zeigen hohe Dynamik und außergewöhnliche geometrische Eigenschaften bei gleichzeitig flacher Bauweise.
Die Tische sind geeignet für diverse Anwendungen – etwa die beidseitige LED-Waferbearbeitung, bei der es auf eine hohe Dynamik und Geradheit im Mikrometerbereich ankommt, oder die quasi-statische optische Messtechnik, bei der eine hohe Genauigkeit und präzise geometrische Eigenschaften erforderlich sind. Die XY-Bauweise des Planar DLA ist für Anwendungen optimiert, bei denen es auf Ebenheit und Geradheit ankommt. Hochpräzise Rollenlager, präzise bearbeitete Oberflächen und berührungslose, direkt angetriebene Linearmotoren, die die Bewegung im Steifigkeitszentrum der Achsen ausführen ergeben einen XY-Tisch mit einer Geradheit bis plus/minus 0,5 Mikrometer und einer Ebenheit bis plus/minus 1,25 Mikrometer.
Aerotech hat die Bauelemente des Tisches unter dem Aspekt hoher Dynamik und Steifigkeit konstruiert. Der Tisch erzielt hohe Servobandbreiten bei Maximierung der freien Apertur und Minimierung der Bauhöhe. Er kann Geschwindigkeiten von zwei Meter pro Sekunde und Beschleunigungen von zwei g erzielen. Kern des Planar DLA ist die Direktantriebstechnologie von Aerotech; sie sorgt für mehr Performance im Vergleich zu spindelangetriebenen Systemen. Denn nur die berührungslose Direktantriebstechnologie ermöglicht diese hohen Geschwindigkeiten und genaue Positionierung sowie den wartungsfreien Betrieb und lange Betriebszeiten. Alle Tische sind mit einem oder zwei Motoren pro Achse erhältlich, sodass sich jede Achse für die Anwendung und den spezifischen Prozess optimieren lässt. pb
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