Sicherheit für BeladungseinheitCooler Schutz für heiße Öfen

Für die Herstellung von Siliziumwafern sind spezielle Öfen nötig. Die Beladung der Öfen übernimmt eine vollautomatisierte, per Software gesteuerte Einheit. Damit Fertigungsfehler und Schäden ausgeschlossen werden, sind Linearmodule und Drehtisch der Beladungseinheit durch Maschinenelemente von ACE gesichert.