Hydraulik + PneumatikFür hohe Standards in der Halbleiterindustrie
Die DMS Dynamic Micro Systems Semiconductor Equipment GmbH in Radolfzell entwickelt und baut Anlagen für die Reinigung von Behältern (Boxen) für die Halbleiterindustrie und für die Archivierung von Siliziumscheiben (Wafer). In diesen Anlagen werden die Boxen mit demineralisiertem Wasser gereinigt und mit Prozessluft abgeblasen. Damit sie dabei nicht wieder mit Partikeln kontaminieren, ist Druckluftqualität 1 gefordert. Deshalb setzt das Unternehmen auf einen ölfreien, wassereingespritzten Schraubenkompressor von Almig.
