Handhabungstechnik

Nanopositionierung mit hohen Lasten

Mit der Serie Tritor entwickelte Piezosystem Jena kompakte XYZ-Nano-Positionierer auf Piezobasis. Das thüringer Unternehmen kann somit auf eine 16jährige Erfahrung in der Produktion von Drei-Achsen-Systemen zurückblicken. Ein neues Modell der Positionierer-Serie ist Tritor 340 CAP. Dieser Drei-Achsen-Tisch wurde für die hochpräzise Positionierung großer Lasten entwickelt. Trotz seiner Belastbarkeit bis zwölf Kilogramm arbeitet der Positioniertisch im Bereich von Nanometern. Das Element erreicht Stellwege bis 50 Mikrometer in X- und Y-Achse und bis 450 Mikrometer in Z-Richtung. Eine hochgenaue kapazitive Wegmesssensorik eliminiert Hysterese- und Drifteffekte und sorgt für höchste Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit im „closed Loop“-Betriebsmodus. Besondere Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spiel- und reibungsfreie Führung. Durch ein spezielles, FEM-optimiertes Design der Antriebskörper wurden die höchstmöglichen dynamischen Eigenschaften generiert. Dadurch wird auch mit zwölf Kilogramm Last noch eine Resonanzfrequenz über 180 Hertz in X/Y- (beziehungsweise über 50 Hertz in Z-) Richtung erreicht. Das System ist besonders geeignet für alle Anwendungen, bei denen eine Nanopositionierung von großen Massen und einer hohen Langzeitstabilität erfolgen soll. In Sonderausführung ist das System auch für Vakuumumgebungen und nicht magnetische Applikationen qualifiziert. gm

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