Messtechnik für industrielle Anwendungen (www.industrial-production.de)
Weg-Winkel-Differenzinterferometer erfasst mehrere Freiheitsgrade
Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays könnten in ihren Dimensionen unterschiedlichster nicht sein – und dennoch haben sie eines gemeinsam: Ihre Strukturen werden immer feiner und stellen zunehmende Ansprüche an die Fertigungstechnik.
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