AntriebstechnikPunkt-zu-Punkt-Positionierer

Der Servo-Planarantriebe von IDAM kombinieren die Vorteile eines Direktantriebs mit denen eines luftgelagerten Zwei-Koordinatentischs mit Winkelfeinpositionierung. Sie eignen sich daher besonders für Positionieraufgaben – auch unter Reinraumbedingungen.