Liegt auf Luft
Feinmess Dresden hat gemeinsam mit 3D-Micromac in Chemnitz ein luftgelagertes XY-Achsensystem mit großen Verfahrwegen entwickelt. Basis ist ein Granitgantry. Für die X-Achse mit 1.600 Millimeter Verfahrweg werden vorgespannte Luftlager verwendet, wodurch Ebenheitsabweichungen von weniger als ein Mikrometer über 100 Millimeter Verfahrweg erreicht werden.
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