SoftwareEine »Reinkarnation« in der Strukturmechanik
Autoren: Holger Conrad1, Dr. Thilo Sandner2, Dr. Harald Schenk2, Prof. Hubert Lakner1,2
1 Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), TU Dresden 2 Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden
Die Reduzierung der in einer Schichtabscheidung entstehenden Verformungen von dünnen Platten, Schalen oder Membranen stellt in vielen Anwendungsgebieten eine wichtige Herausforderung dar.
Seite [5 von 6]
 | | | Bild 5 von 6 | | | |
Bild 1 zeigt das Beispiel eines Prozessflusses: Schematischer Querschnitt bei der Schichtabscheidung zweier Dünnschichten.