(Foto: P. Born)

Nano-präzise Messtechnik für industrielle High-End-Anwendungen: Die zunehmende Miniaturisierung von Produkten, beispielsweise in der Halbleiter-, Elektronik- und Optik-Industrie, aber auch die hochgenaue Kalibrierung von Maschinenachsen oder die Vibrations- und Schwingungsmessung an Produktionsmaschinen erfordern von der Messsensorik immer häufiger eine Präzision im Submikrometerbereich. Mit dem Industrial Displacement Sensor IDS3010 steht jetzt ein industriegerechter und integrationsfreundlicher Hochpräzisions-Messsensor zur Verfügung, der bei Arbeitsabständen von bis zu fünf Metern eine Auflösung von einem Pikometer bietet.
Dr. Martin Zech, Chief Technology Officer, Attocube Systems in München, stellte die Neuentwicklung vor.