Handhabungstechnik
Schont die Zelle
Ein hochdynamischer Greifer für das Waferhandling ist der SZG-C von Schunk. Dieser Solarzellengreifer handhabt Wafer und fertige Zellen sicher, präzise und schonend. Aufgrund seiner schnellen Ablegefunktion erledigt das Leichtgewicht einen kompletten Transportzyklus von 550 Millimeter inklusive „On-the-fly“-Inspektion durch ein Kamerasystem und Rückweg in einer Taktzeit unter einer Sekunde. Damit definiert er eine neue Effizienzklasse in der Solarzellenfertigung. Sowohl neue als auch vorhandene Anlagen können mit dem Highspeedgreifer ausgerüstet werden. Den SZG-C gibt es für Wafer mit einem Kantenmaß von 125 beziehungsweise 156 Millimeter. Dabei sind die Saugstellen so verteilt und dimensioniert, dass die Bruchrate deutlich reduziert wird. Zugleich bringt der Greifer eine hohe Saugkraft auf, sodass sich selbst deformierte, gebrochene oder perforierte Wafer sicher handhaben lassen. Um Verunreinigungen des Arbeitsraums zu verringern wird die angesaugte Luft kontrolliert abgeleitet. Spezielle Kontaktflächen aus hochwertigem Peek-Kunststoff minimieren die Kontamination der Rohwafer und verhindern blinde Flecken. Weil die Saugfläche kleiner ist als die jeweilige Zelle, lassen sich die kompletten Waferkanten zuverlässig von einem Vision System inspizieren. Damit steigen Prozessqualität und -sicherheit in der Solarzellenfertigung. Der SZG-C ist für sämtliche Roboter- und Portalsysteme in der Solarzellenfertigung geeignet. Er wird mit einem Luftdruck von eins bis zwei bar betrieben. pb
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